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安全完整性等級 SILX – Safety Integrity Level對應安全完整性量值的范圍，四個等級—SIL1、SIL2、SIL3、SIL4，SIL4等級最高。

診斷覆蓋率DC—Diagnostic Coverage通過自動在線診斷測試檢測到的危險失效分數(shù)，由檢測到的危險失效率除以總危險實現(xiàn)率計算出來的（已經檢測到的失效率占總失效率的比值）。

表決通道組在要求時的平均失效概率PFD—Probability of dangerous Failure on Demand 指的是在低要求模式下，安全儀表系統(tǒng)在EUC或EUC相關系統(tǒng)發(fā)出要求時執(zhí)行規(guī)定安全功能的平均不可用性。

表決通道組的平均失效頻率PFH— Average frequency of dangerous failure 指的是在高要求模式或者連續(xù)模式下，安全儀表系統(tǒng)在一個給定的時間周期內執(zhí)行規(guī)定安全功能時的危險失效平均頻率。

安全失效分數(shù)SFF—safe failure fraction平均安全失效率加上檢測出的平均危險失效率，與平均危險失效之比。

硬件故障裕度HFT – Hardware Fault Tolerance  表示系統(tǒng)的容錯能力。

失效模式與影響分析FMEA—failure Mode and Effects Analysis 針對產品所有可能的故障，并根據(jù)對故障模式的分析，確定每種故障模式對產品工作的影響，找出單點故障，并按故障模式的嚴重度及其發(fā)生概率確定其危害性。

失效模式與診斷分析FMEDA—Failure Modes Effects and Diagnostic Analysis 它對功能安全產品的失效風險，是否可診斷進行定性分析，同時也為平均失效概率和安全完整性等級的計算提供了有效的數(shù)據(jù)支撐。